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1、一般两个小时左右消耗完。
2、刻蚀用单晶硅材料是晶圆制造刻蚀工艺的核心耗材。刻蚀设备是将硅片置入单晶硅环,置于刻蚀设备腔体下方,利用酸性的等离子刻蚀气体在硅片上进行微观雕刻,使硅片表面按设计线宽和深度进行腐蚀,形成微小集成电路。刻蚀过程中硅电极会被逐渐腐蚀并变薄,
3、当硅电极厚度缩减到一定程度后,需用新电极替换以保证刻蚀均匀性,因此硅电极是晶圆制造刻蚀工艺的核心耗材。
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